测量需求
半导体与液晶面板制造对工艺温度、电源电压及设备信号的稳定性极为敏感，需要在不干扰产线的前提下完成多点同步记录与事后追溯。
方案构成
- 全通道隔离输入，降低共地干扰风险
- 多机型组合覆盖不同测点规模
- 配合上位机软件实现长时间连续记录与数据归档
- 提供中文技术资料与现场 / 远程调试支持
半导体 / 面板
半导体与面板工艺
面向工艺设备与洁净室环境的高精度、多测点长期记录。
面向工艺设备与洁净室环境的高精度、多测点长期记录。
半导体与液晶面板制造对工艺温度、电源电压及设备信号的稳定性极为敏感，需要在不干扰产线的前提下完成多点同步记录与事后追溯。